疏水氣相沉積設(shè)備 超疏水處理系統(tǒng)應(yīng)用于納米壓印脫模工藝、硅烷偶聯(lián)劑鍍膜，增粘劑氣相沉積，脫模劑蒸鍍等工藝，Plasma等離子體氣相沉積系統(tǒng)

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納米壓印具有分辨率高（可達(dá)5納米以下）、成本低、工藝簡單等優(yōu)勢， 被列為下一代32nm節(jié)點光刻技術(shù)的有前景技術(shù)之一。其核心工藝包括模板制造、壓印過程（模板處理、加壓、脫模）及圖形轉(zhuǎn)移，涉及多種材料如模板材料、襯底材料和壓印膠。納米壓印在半導(dǎo)體光電器件、存儲器件、生物技術(shù)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，如制備光子晶體、高密度存儲器、DNA分析微陣列等。

疏水氣相沉積設(shè)備 超疏水處理系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域

納米壓印工藝：硬模板法制備超疏水表面的核心在于利用剛性結(jié)構(gòu)模具精確復(fù)制微觀形貌實際工作中常用陽極氧化鋁(Anodic Aluminum Oxide)或硅(Silicon)模板其規(guī)整的納米孔道能高效構(gòu)筑表面微納二級結(jié)構(gòu)。采用 AAO模板配合聚二甲基硅氧烷(PDimethylsiloxane)進(jìn)行納米壓印，脫模機(jī)（抗粘劑）氣相沉積工藝。超疏水處理系統(tǒng)可達(dá)8次以上脫模。

自清潔表面：應(yīng)用于建筑外墻、太陽能電池板、交通工具外殼等，可利用雨水實現(xiàn)自清潔，減少維護(hù)成本。

防冰與防霜：超疏水表面能顯著延遲結(jié)冰時間并降低冰粘附強(qiáng)度，在航空、電網(wǎng)和制冷系統(tǒng)中有巨大應(yīng)用潛力。

油水分離：超疏水/超親油或多孔超疏水材料可用于高效分離油水混合物，在處理工業(yè)含油廢水和海洋漏油事故中作用關(guān)鍵。

金屬防腐：超疏水涂層能有效阻隔水、氧氣及腐蝕性離子（如Cl?）與金屬基體接觸，是一種綠色高效的金屬防護(hù)策略。

船舶減阻：超疏水表面形成的 “空氣墊" 可減小船體與水的接觸面積，航行阻力降低 20%~30%，顯著節(jié)省能耗。