潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應(yīng)用場景
半導(dǎo)體行業(yè)?：晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化（如PI/BCB/PBO涂層）/晶圓退火、電子元器件制造（前烘、堅(jiān)膜、墨點(diǎn)烘烤、備件烘烤等），減少微塵污染90%
?新能源領(lǐng)域?、醫(yī)療與科研?

?潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱核心參數(shù)與技術(shù)特性?

?溫度范圍?：RT+20~200/400℃，控溫精度±0.5℃，支持快速升溫（>6℃/min）?

?潔凈等級(jí)?：Class 10~100級(jí)（百級(jí)潔凈度過濾效率達(dá)99.99%），內(nèi)腔采用304、316L不銹鋼材質(zhì)，密封防塵設(shè)計(jì)?

?氮?dú)獗Ｗo(hù)?：充氮純度≥99.999%，氧含量可低至10ppm以下，氮?dú)鈮毫φ{(diào)節(jié)范圍0.01~0.60MPa?

?定制化配置?：支持雙箱獨(dú)立控制、可視化窗口（可選）、不銹鋼網(wǎng)板分層（可活動(dòng)抽取）?

?二、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與功能設(shè)計(jì)?

?箱體構(gòu)造?

外箱：防塵烤漆處理（冷軋鋼板），或304、316L不銹鋼材質(zhì)，耐高溫密封條?

保溫層：高密度陶瓷纖維，熱能損耗降低30%?

?加熱與控溫系統(tǒng)?

加熱方式：覆套式無塵電熱器，均勻加熱，支持觸摸屏程序控溫?

循環(huán)風(fēng)道：水平送風(fēng)+HEPA高效過濾，快速降溫排氣口自動(dòng)風(fēng)門設(shè)計(jì)?

?智能控制?：支持MES等自動(dòng)化通信端口，

      內(nèi)置計(jì)時(shí)報(bào)警功能，

      氧含量實(shí)時(shí)監(jiān)測（氧化鋯分析儀）?

潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應(yīng)用場景與解決方案?

?半導(dǎo)體行業(yè)?：晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化（如PI/BCB/PBO涂層）/晶圓退火、電子元器件制造（前烘、堅(jiān)膜、墨點(diǎn)烘烤、備件烘烤等），減少微塵污染90%

?新能源領(lǐng)域?：鋰電池材料高溫干燥，氮?dú)夥姥趸Ｗo(hù)?、新能源材料企業(yè)

?醫(yī)療與科研?：生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室，無菌實(shí)驗(yàn)設(shè)備干燥、無氧環(huán)境樣品處理（符合ISO9001標(biāo)準(zhǔn)）?

?四、服務(wù)與保障?

?售后支持?：提供設(shè)備調(diào)試、技術(shù)培訓(xùn)，終身維護(hù)

?質(zhì)量認(rèn)證?：執(zhí)行CE、ISO9001/SEMI S2等標(biāo)準(zhǔn)

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