堅(jiān)膜烘箱，氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對(duì)顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

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更新時(shí)間：2025-09-17
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堅(jiān)膜烘箱，氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱

堅(jiān)膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對(duì)顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

堅(jiān)膜烘箱，氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱技術(shù)性能：

溫度范圍：RT～250℃；
均勻度：±2%℃;

溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;

潔凈度：Class100;

計(jì)時(shí)范圍：99H99M；

氣體氛圍：N2；

內(nèi)部尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×550

600×700×800（可定制）
電源：380v , 50Hz

網(wǎng)板：2-4只（高度可調(diào)節(jié))

可擴(kuò)展功能：

雙腔體或多腔體

智能聯(lián)網(wǎng)功能，MES等工業(yè)自動(dòng)化軟件

掃碼槍，掃碼溯源，一鍵讀取

自動(dòng)門控，上位機(jī)程控，機(jī)械手搬運(yùn)產(chǎn)品

堅(jiān)膜烘箱也可用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

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