HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的？

更新時間：2023-11-10

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HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態(tài)的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來增黏的作用。

HMDS中文名六甲基二硅氮烷，是一種有機物，在水中的溶解性很低，但它可與多種有機溶劑混溶，比如醇、醚和多數(shù)非極性溶劑。溶劑清洗：可以使用有機溶劑溶劑（如異丙醇）來清洗晶圓，以去除多余的HMDS。

HMDS烘箱的作用

HMDS烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS烘箱性能

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤1torr

控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便

HMDS工藝：蒸汽氣相涂布

安全檢測：超溫保護，HMDS泄漏檢測提示

儲液瓶：HMDS儲液瓶

真空泵：無油渦旋真空泵

工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制