氮氣烘箱在半導(dǎo)體制程如何選擇？

更新時間：2023-10-26

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　　每個半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造都需要數(shù)百個工藝,整個制造過程分為八個步驟:晶圓加工-氧化-光刻-刻蝕-薄膜沉積-互連-測試-封裝。

　　然而在這數(shù)百個工藝中有數(shù)道需要烘烤工藝，而且每個烘烤工藝不是相同，所以需要的烘烤設(shè)備也有差異。

　　精密氮氣烘箱可用于一以下工藝:

　　RGBT烘烤，PCB板防氧化烘烤，光刻膠固化，硅片高溫退火，墨點烘烤，外延片烘烤，LED、治具烘烤等干燥或固化工藝；

　　潔凈氮氣烘箱一般用于

　　光刻膠預(yù)烘烤(軟烘)，堅膜烘箱(硬烘)等工藝烘烤

　　高溫?zé)o氧烘箱主要用途

　　高溫?zé)o氧烘箱有真空無氧固化爐和熱風(fēng)無塵無氧烘箱

　　BCB/PI/CPI/LCP/PBO等固化工藝

　　HMDS烘箱

　　用于將基底由親水性改變?yōu)槭杷裕瑥亩鰪娀椎恼掣叫裕?br />

　　適用于MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

　　氮氣烘箱技術(shù)性能

　　無塵等級：Class 100; 選配

　　溫度范圍：RT+15-200/300/400/500℃;

　　升溫速率：8℃/min；

　　降溫方式：自然降溫或輔助降溫

　　內(nèi)腔材質(zhì)：SUS304/316L#鏡面不銹鋼；

　　外箱材質(zhì)：冷軋板噴塑或不銹鋼；

　　真空度：可達10Pa(真空無氧烘箱、HMDS烘箱)

　　氧濃度：可達10ppm(無氧烘箱)

　　氮氣裝置：可調(diào)式浮子流量計+減壓閥